工 藝 流 程 圖 如 下:配料--混合磨細(xì)--預(yù)燒--二次磨細(xì)--造粒--成型--排塑--燒結(jié)成瓷--外形加工--被電極--高壓極化--老化測(cè)試。
一、配料:進(jìn)行料前處理，除雜去潮，然后按配方比例稱(chēng)量各種原材料，注意少量的添加劑要放在大料的中間。
二、混合磨細(xì):目的是將各種原料混勻磨細(xì),為預(yù)燒進(jìn)行完全的固相反應(yīng)準(zhǔn)備條件.一般采取干磨或濕磨的方法。小批量可采取干磨，大批量可采取攪拌球磨或氣流粉碎的方法，效率較高。
三、預(yù) 燒:目的是在高溫下,各原料進(jìn)行固相反應(yīng),合成壓電陶瓷.此道工序很重要。會(huì)直接影響燒結(jié)條件及最終產(chǎn)品的性能。
四、二次細(xì)磨:目的是將預(yù)燒過(guò)的壓電陶瓷粉末再細(xì)振混勻磨細(xì),為成瓷均勻性能一致打好基礎(chǔ)。
五、造粒:目的是使粉料形成高密度的流動(dòng)性好的顆粒。
六、成型:目的是將制好粒的料壓結(jié)成所要求的預(yù)制尺寸的毛坯。
七、排塑:目的是將制粒時(shí)加入的粘合劑從毛坯中除掉。
八、燒結(jié)成瓷:將毛坯在高溫下密封燒結(jié)成瓷。此環(huán)節(jié)相當(dāng)重要。
九、外形加工:將燒好的制品磨加工到所需要的成品尺寸。
十、被電極:在要求的陶瓷表面設(shè)置上導(dǎo)電電極。一般方法有銀層燒滲、化學(xué)沉積和真空鍍膜。
十一、高壓極化:使陶瓷內(nèi)部電疇定向排列，從而使陶瓷具有壓電性能。
十二、老化測(cè)試:陶瓷性能穩(wěn)定后檢測(cè)各項(xiàng)指標(biāo)，看是否達(dá)到了預(yù)期的性能要求。
